SrTiO3 Is-haen
Disgrifiad
Mae gan grisial sengl SrTiO3 strwythur dellt da o ddeunydd strwythur perovskite.Mae'n ddeunydd swbstrad ardderchog ar gyfer twf epitaxy HTS a'r rhan fwyaf o ffilmiau ocsid.Fe'i defnyddiwyd yn helaeth wrth ymchwilio i ffilmiau tenau superconducting tymheredd uchel.Fe'i defnyddir yn eang hefyd mewn ffenestri optegol arbennig a thargedau sputtering o ansawdd uchel.
Priodweddau
Cyfeiriadedd: (100) +/-0.5 Deg
Cyfeiriadedd ymyl Arwydd: <001> +/-2 Deg ar gael fel opsiwn gyda chost ychwanegol
Pwyleg: EPI un ochr wedi'i sgleinio gan dechnoleg CMP gyda llai o ddifrod dellt is-wyneb.
Pecyn: Wedi'i becynnu mewn bag plastig gradd 100 o dan ystafell lân dosbarth 1000.
| Strwythur grisial | Ciwbig, a=3.905 A |
| Dull Twf | Vernuil |
| Dwysedd (g/cm3） | 5. 175 |
| Pwynt toddi (℃) | 2080 |
| Caledwch (Mho) | 6 |
| Ehangu Thermol | 10.4 (x10-6/ ℃) |
| Cyson Dielectric | ~300 |
| Colli Tangent ar 10 GHz | ~5x10-4@ 300K , ~3 x10-4@77K |
| Lliw ac Ymddangosiad | Tryloyw (weithiau ychydig yn frown yn seiliedig ar gyflwr anelio). Dim gefeilliaid |
| Sefydlogrwydd Cemegol | Anhydawdd mewn dŵr |
SrTiO3 Diffiniad swbstrad
Mae swbstrad SrTiO3 yn cyfeirio at swbstrad crisialog wedi'i wneud o'r titanate strontiwm cyfansawdd (SrTiO3).Mae SrTiO3 yn ddeunydd perovskite gyda strwythur grisial ciwbig, sy'n cael ei nodweddu gan gysonyn dielectrig uchel, sefydlogrwydd thermol uchel, a dellt da yn cydweddu â llawer o ddeunyddiau eraill.
Defnyddir swbstradau SrTiO3 yn eang ym meysydd dyddodiad ffilm tenau a thwf epitaxial.Mae strwythur ciwbig SrTiO3 yn caniatáu twf ffilmiau tenau o ansawdd uchel gydag ansawdd crisialog rhagorol a dwysedd diffyg isel.Mae hyn yn gwneud swbstradau SrTiO3 yn addas iawn ar gyfer tyfu ffilmiau epitaxial a heterostructures ar gyfer cymwysiadau amrywiol.
Mae cysonyn dielectrig uchel SrTiO3 yn ei gwneud yn addas ar gyfer cymwysiadau fel cynwysyddion, dyfeisiau cof, a ffilmiau tenau ferrodrydanol.Mae ei sefydlogrwydd thermol yn ei gwneud yn addas ar gyfer cymwysiadau tymheredd uchel.
At hynny, mae priodweddau amrywiol SrTiO3, megis ei ddargludedd metelaidd ar dymheredd isel a'r posibilrwydd o achosi cyflwr uwch-ddargludol, yn ei gwneud yn ddefnyddiol ar gyfer ymchwil ffiseg mater cyddwys a datblygu dyfeisiau electronig ac optoelectroneg.
I grynhoi, mae swbstradau SrTiO3 yn swbstradau crisialog wedi'u gwneud o titanate strontiwm, a ddefnyddir yn gyffredin mewn dyddodiad ffilm tenau, twf epitaxial, ac ystod eang o gymwysiadau electronig ac optoelectroneg oherwydd eu cyson dielectrig uchel, sefydlogrwydd thermol, ac eiddo paru dellt da.
